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偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等。主要作用包括：被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火，明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。该电源输出波形为直流。
品名 偏压电源
型号 BD系列
输入 相数 三相+N
电压 380V
频率 50Hz
输入方式 4线（含零线）
输出 波形 脉冲
功率 10KW~100KW（可定制）
电压 0—1200V（可定制）
稳定度 ≤1%
电流 0—100A（可定制）
稳定度 ≤1%
纹波及杂讯 ≤2%
效率 ≥90%
控制 控制方式 标准方式：恒压/高低压切换
可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换
控制接口
标准方式：面板手动
可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus)
保护 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
冷却 风冷或水冷
外型 防护等级 IP21
单元尺寸
(W*D*H) 箱体：440(W)X260(H)X580(D) （20KW风冷）
面板：482(W)X280(H)
重量 30KG（20KW）
备注
